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2013-05-23 12:21
求翻译：Fabrication of micro and nano devices is of prime significance to the area of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). Attempts have been made to accommodate high performance devices in compact units, thus reducing their overall size. There exist a variety of microfabrication techniques including lithography, chemical 是什么意思？ 待解决
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Fabrication of micro and nano devices is of prime significance to the area of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). Attempts have been made to accommodate high performance devices in compact units, thus reducing their overall size. There exist a variety of microfabrication techniques including lithography, chemical
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
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2013-05-23 12:23:18
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2013-05-23 12:24:58
生产微和nano设备是头等意义到微电镀物品机械系统(MEMS)区域。 企图在紧凑单位被做了容纳高性能设备，因而减少他们的整体大小。 那里存在各种各样的microfabrication技术包括石版印刷、今天使用的化学气相沉积和LIGA。 制造费用与这些过程相关可以禁止归结于周期和在蚀刻操作期间，发生的珍贵的物质损失。 这些缺点成为更加重大的问题，当弯曲的大厦追踪时并且支持多数在3D空间发生的结构。
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2013-05-23 12:26:38
微观与纳米器件的是面积的微型机电系统 (MEMS) 的主要意义。已尝试满足高性能的设备，在紧凑的单位，从而减少其整体的大小。存在着各种各样的微细加工技术包括光刻、 化学气相沉积和 LIGA 今天使用的。制造与这些流程相关的成本可以承受的高由于周期时间和宝贵的材料损失蚀刻操作期间发生。这些缺点生成曲线的痕迹时，变得更重大的问题，并支持大多数发生在 3D 空间中的结构。
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2013-05-23 12:28:18
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