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2013-05-23 12:21
求翻译：Injector apparatus for distributing precursor gas to epitaxial growth chamber of epitaxial growth apparatus, has substrate having several ports for distributing gas received from conduits, into epitaxial growth chamber是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
Injector apparatus for distributing precursor gas to epitaxial growth chamber of epitaxial growth apparatus, has substrate having several ports for distributing gas received from conduits, into epitaxial growth chamber
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
用于分配的前驱体气体外延外延生长装置的生长室中喷射器的装置，具有多个端口用于分配从导管接收到的气体，进外延生长室基板
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2013-05-23 12:23:18
分布的前体气体的注射器用具对外延生长用具外延生长房间，有有的基体从输送管道接受的分布的气体的几个口岸，入外延生长房间
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2013-05-23 12:24:58
注射器用具为分布的前体气体对外延生长用具外延生长房间，有基体有几个口岸为从输送管道接受的分布的气体，入外延生长房间
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2013-05-23 12:26:38
注射装置为分布的前体气体的外延生长设备、 外延生长分庭已衬底有几个端口为分布的天然气管道，从接收到进入外延生长分庭
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2013-05-23 12:28:18
喷油嘴装置气体前体的分配,外延增长分庭的外延生长设备,有基材有多个端口收到的分配气体从管道,外延增长分庭
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