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匿名	关注：1 2013-05-23 12:21 求翻译：The RPS uses inductively coupled RF power to break apart the fluorine containing source gas是什么意思？待解决悬赏分：1 - 离问题结束还有 The RPS uses inductively coupled RF power to break apart the fluorine containing source gas 问题补充：

匿名	2013-05-23 12:21:38 RPS使用电感耦合的射频功率掰开含氟气源

匿名	2013-05-23 12:23:18 rps使用电感耦合射频功率要拆分氟包含源气体

匿名	2013-05-23 12:24:58 RPS使用引人地被结合的RF力量分开包含来源气体的氟素

匿名	2013-05-23 12:26:38 RPS 使用电感耦合的射频功率掰含氟源气

匿名	2013-05-23 12:28:18 每秒转数使用归纳地结合的 RF 力量分开破坏包含来源气体的氟

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求翻译：The RPS uses inductively coupled RF power to break apart the fluorine containing source gas是什么意思？