求翻译：First, a high-resolution electron-beam resist for e-beam lithography was spincoated and soft-baked on a SI-GaAs substrate after acetone cleaning.是什么意思？

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First, a high-resolution electron-beam resist for e-beam lithography was spincoated and soft-baked on a SI-GaAs substrate after acetone cleaning.

问题补充：

匿名	2013-05-23 12:21:38 第一，高分辨率的电子束抵制spincoated电子束光刻和丙酮清洗后的SI-GaAs衬底上的软烤。

匿名	2013-05-23 12:23:18 第一,有一个高分辨率电子束抗美援朝的电子束光刻技术是spincoated和软烤上一个si-丙酮清洁后gaas基材。

匿名	2013-05-23 12:24:58 首先，高分辨率电子射线为e射线石版印刷在SIGaAs基体抵抗是spincoated并且软烘烤了在丙酮清洁以后。

匿名	2013-05-23 12:26:38 第一，为电子束的高分辨率电子束抗 spincoated，软烤砷化镓衬底上丙酮清洗后。

匿名	2013-05-23 12:28:18 首先，一个高清晰度的电子横梁为 e 横梁的平版印刷术抵抗被 spincoated 和软烤在一 SI-GaAs 的 substrate 在丙酮清扫之后。

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