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2013-05-23 12:21
求翻译：Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) is the integration of mechanical elements, sensors, actuators, and electronics on a common silicon substrate through microfabrication technology.是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
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Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) is the integration of mechanical elements, sensors, actuators, and electronics on a common silicon substrate through microfabrication technology.
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
微机电系统（MEMS）是整合机械元件，传感器，执行器，并通过微细加工技术常见的硅衬底上的电子。
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2013-05-23 12:23:18
micro-electro-机械系统(mems)是一体化的机械元件、传感器、执行器和电子产品的一个通用芯片基材通过微制造技术。
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2013-05-23 12:24:58
微电镀物品机械系统(MEMS)是机械元素、传感器、作动器和电子的综合化在共同的硅体通过microfabrication技术。
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2013-05-23 12:26:38
微型机电系统 (MEMS) 是机械零件、 传感器、 执行器、 和电子通过微细加工技术的通用硅衬底上的整合。
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2013-05-23 12:28:18
微电机械系统 (MEMS) 是机械元素，传感器，传动器，一个共同硅上的电子产品的集成至微装配工技术的 substrate。
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