Mid-frequency PECVD of a-SiCN:H films and their structural, 的翻译是：什么意思？中文翻译英文，英文翻译中文，怎么说？-青云在线翻译网

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求翻译：Mid-frequency PECVD of a-SiCN:H films and their structural, mechanical and electrical properties是什么意思？