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2013-05-23 12:21
求翻译：The endpoint of the planarization process can be determined by detecting different torque forces experienced by the planarizing tool, such as a grinder, when the material being removed changes from molding compound 106 to insulating layer 126c’ and then to contact pad 128’. In some embodiments, the endpoint is determi是什么意思？ 待解决
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The endpoint of the planarization process can be determined by detecting different torque forces experienced by the planarizing tool, such as a grinder, when the material being removed changes from molding compound 106 to insulating layer 126c’ and then to contact pad 128’. In some embodiments, the endpoint is determi
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
通过检测不同的扭矩力，经历了由平坦化的工具，如磨床，当物质被删除从成型化合物106绝缘层126c“，然后联系垫128'，可确定的平坦化过程的终点。在一些实施方案，确定端点所接触垫128“的平坦化工具的检测。这是挑战确定的平坦化过程的终点时，平坦化工具需要两种不同类型的表面（绝缘层126c和接触垫，以确定参与
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2013-05-23 12:23:18
端点的planarization进程的可确定不同的扭矩通过检测planarizing部队经验丰富的工具,如一个研磨机,当材料复合成型的变化中去除绝缘层106126c”,然后在触点垫128”。 在一些体现和端点所确定的检测的接触垫的planarizing128”的工具。
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2013-05-23 12:24:58
正在翻译，请等待...
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2013-05-23 12:26:38
终结点的平坦过程可以通过检测不同扭矩部队经历的 planarizing 工具，如磨，当从成型复合 106 到隔热层 126 c 材料被删除的变化确定 '，然后联系垫 128'。在一些体现，终结点是由 planarizing 工具决定由接触垫 128' 的检测。它具有挑战性的 planarizing 工具需要识别与两种不同类型的曲面接触时确定平整过程的端点 （隔热层 126 c' 和接触垫
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2013-05-23 12:28:18
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