求翻译：In the SiNA® process module, process gases silane and ammonia react according to the following reaction equation (empirical formula):是什么意思？

待解决

悬赏分：1 - 离问题结束还有

In the SiNA® process module, process gases silane and ammonia react according to the following reaction equation (empirical formula):

问题补充：

匿名	2013-05-23 12:21:38 在新浪®进程模块，工艺气体硅烷和氨气反应，根据下列反应方程式（经验公式）：

匿名	2013-05-23 12:23:18 在sina®进程模块,硅烷类气体进程作出反应和氨根据以下公式反应(经验公式):

匿名	2013-05-23 12:24:58 正在翻译，请等待...

匿名	2013-05-23 12:26:38 在新浪 ® 进程模块、工艺气体硅烷与氨反应根据以下的反应方程式（经验公式）：

匿名	2013-05-23 12:28:18 正在翻译，请等待...

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