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2013-05-23 12:21
求翻译：Semiconductor wafer transfer device for use in semiconductor processing equipment, has passageway formed from inlet port to outlet port, through which active gas limiting decomposition or sublimation of surface of wafer, flows是什么意思？ 待解决
 悬赏分：1
- 离问题结束还有
Semiconductor wafer transfer device for use in semiconductor processing equipment, has passageway formed from inlet port to outlet port, through which active gas limiting decomposition or sublimation of surface of wafer, flows
问题补充： |
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2013-05-23 12:21:38
在半导体处理设备的使用半导体晶片传送装置中，具有通道从进气口形成与出口端口，通过这些活性气体限制或分解的晶片的表面的升华，流
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2013-05-23 12:23:18
半导体片调动设备用于半导体处理设备，有从进气孔口形成的通道到出油口，限制表面薄酥饼，流程的分解或升华的活跃气体
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2013-05-23 12:24:58
半导体片调动设备用于半导体处理设备，有从进气孔口形成的通道到出油口，限制表面薄酥饼，流程的分解或升华的活跃气体
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2013-05-23 12:26:38
半导体晶片传输装置用于半导体加工设备，已形成从入口端口到插座端口，通过限制分解或升华的表面的外延片、 流动的活性气体的通道
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2013-05-23 12:28:18
半导体晶片传输设备,用于半导体加工设备,已形成一个从进气通道端口插座端口,可以通过限制气体的分解或升华的晶片表面上,流动
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